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100μm角のサンプル(シリコン)の
ホール測定を行いたいのですが、何か良い方法はありますでしょうか?
小さすぎてプローブを置くことができません。
(van der pauw法)

試料の形態ですが、対向する一対の電極はすでに形成されています。

A 回答 (1件)

「技術の森」に質問されたらどうですか?


計測のプロがいますから答え貰えるかも?
検索すれば一発で出ます。
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この回答へのお礼

回答ありがとうございます。
技術の森で聞いてみます。

お礼日時:2004/08/17 20:27

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