分光測定データによるnkの算出方法について

若干吸収のある単層膜（均質）の屈折率及び吸収係数について、分光測定データから算出する方法を教えて下さい。
詳細を以下に示します。
nm;基板屈折率（吸収なし）
n;?（単層膜の屈折率）
k;?（単層膜の吸収係数）
ただし、n<nm
-測定データ-
R;膜面より測定した反射率
R；基板側より測定した反射率
T；透過率
宜しくお願いします。

No.3 ベストアンサー 回答者： paddler 回答日時： 2006/05/25 18:21

亀レスですみません。

> n（薄膜屈折率）<nm（基板屈折率）の場合、．．．

上記の場合も、山と谷が反転するだけで、状況は「n（薄膜屈折率）
＞nm（基板屈折率）の場合」と同じです。

なので、「n（薄膜屈折率）＞nm（基板屈折率）の場合」が"例題"に
従って求められるなら、上記の場合も同じくできるはずだと思います。

この回答へのお礼

ご回答有難うございます。
nm（基板屈折率）の場合と同様の方法で算出しましたところ、求める事が出来ました。
今後も初歩的な事をご質問するかもしれませんが、その際は宜しくお願いします。

お礼日時：2006/05/30 08:02

No.2 回答者： paddler 回答日時： 2006/01/18 23:39

単層膜であれば、エリプソメータでなくても、通常の分光光度計で

波長の関数として反射スペクトルを測定すれば、そこからｎとｋを
波長の関数として算出することができます。

詳しい説明は、「応用光学」など一般の光の教科書には必ず載って
います。ウェブでは、下記などが参考になるでしょうか。

http://www.nsg-ntr.com/TIME/opt.htm

参考URL：http://www.nsg-ntr.com/TIME/opt.htm

この回答への補足

ご回答有難うございます。
「光学薄膜の基礎理論（小檜山光信著）」より、
n（薄膜屈折率）<nm（基板屈折率）の場合、
n=SQRT[｛nm^2*Tf+nm*(1-SQRT(Rf))^2｝/｛Tf+nm*(1+SQRT(Rf))^2｝]
という式が記載されており、この式を使用してnを算出したいと考えております。
この時、用いるRf及びTfは、分光透過特性（分光光度計で測定した波長の関数）でいうところの何処を使用して算出すれば宜しいのでしょうか？
n（薄膜屈折率）＞nm（基板屈折率）の場合は、
例題があり、分光透過特性の谷ピークを使用して求めています。

補足日時：2006/01/24 08:08

No.1 回答者： boson 回答日時： 2006/01/18 03:47

分光測定と言ってもどのような測定をなさったのかわからないのですが、

それがもし分光エリプソメトリだったのでしたら下記ＵＲＬが参考になると思います。

参考URL：http://www.jyhoriba.jp/product_j/elli/outline/in …

この回答への補足

ご回答有難うございます。
分光光度計で測定しています。
そして、現在問題としているところは、
「光学薄膜の基礎理論（小檜山光信著）」より、
n（薄膜屈折率）<nm（基板屈折率）の場合、
n=SQRT[｛nm^2*Tf+nm*(1-SQRT(Rf))^2｝/｛Tf+nm*(1+SQRT(Rf))^2｝]
という式が記載されており、この式を使用してnを算出したいと考えております。
この時、用いるRf及びTfは、分光透過特性（分光光度計で測定した波長の関数）でいうところの何処を使用して算出すれば宜しいのでしょうか？
n（薄膜屈折率）＞nm（基板屈折率）の場合は、
例題があり、分光透過特性の谷ピークを使用して求めています。

補足日時：2006/01/24 08:32