真空度1Pa程度の容器内の残留酸素ガス濃度を計測するのに最適な濃度計を教えてください。

タイトルの通りですが、大気圧から１Pa程度の範囲内で酸素濃度を測ることのできる計測計はありますでしょうか。容器は大気成分以外はありません。

No.1 回答者： c80s3xxx 回答日時： 2007/03/19 18:01

そもそも，大気圧から1Paってことは1000倍以上のダイナミックレンジが必要なわけで，ダイレクトにそれだけの範囲を一定以上の精度で測れる方法は，気体成分濃度でなくても難しいと思いますけどね．

1Paくらいまで減圧するんなら，性能的には MS が最適でしょうね．C/P の問題は別として．
あとは長光路の紫外でも作りますかねえ．

この回答へのお礼

ありがとうございます。素人なのでMSとかC/Pとかよくわかりませんが、検索の参考にさせていただきます。

お礼日時：2007/04/03 15:43