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シリコンの表面にできる酸化膜のSiO2と石英などのSiO2は
その構造は同じなのでしょうか?
SiO2は非晶質だと聞いたので、全く同じものだと考えて良いのでしょうか?

A 回答 (1件)

SiO2といえでも結晶があります。



石英は通常多結晶です。
Si表面のSiO2は、下地がSi基板なので結晶性にどれくらい影響を与えるか微妙ですが、まあ非晶質でしょう。

石英でも、石英ガラスは非晶質です。
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この回答へのお礼

回答ありがとうございます。

ではシリコンの上のSiO2と石英ガラスのSiO2は仕事関数なども含めて
全く同じものであると考えて良いのでしょうか?

お礼日時:2009/08/23 16:28

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