表面モホロジーとは？

半導体基板表面の清浄化処理について勉強しているのですがわからないことばがあって困っていますのでどなたか教えてください。「表面モホロジー」という言葉です。たぶん表面の凸凹のことかなっと想像しているのですが、あいまいだといけないのでお願いいたします。

No.1 ベストアンサー 回答者： gator 回答日時： 2003/10/02 18:10

それであってますよ。

凹凸だったり、ザラザラした感じだったり、ピット(凹み)が
できたり、逆に出っ張りができたりいろいろあります。それぞれ
言葉が出てくるかもしれませんね。

英語でmorphologyです。辞書で引くと「形態」となってますね。

以上

この回答へのお礼

さっそくの回答ありがとうございます。なるほどそうなんですね。勉強になりました。ありがとうございます。

お礼日時：2003/10/02 19:28