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神港精機株式会社製のアーク放電型高真空イオンプレーティング装置を使用しております。
http://www.shinko-seiki.com/products/191/
270°偏向型電子銃でるつぼの金属を溶かし、蒸発、蒸発したものをイオン化電極でイオン化しイオン化原子をウエーハ基板に飛ばしますが、イオンの方向性は何で決まりますか？
プラズマ中でイオン化した、イオンが周りの電磁界で方向性が決まるのか、ウエーハにイオンが飛ぶように構造が作られているのか？
宜しくお願いします。
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