No.1ベストアンサー
- 回答日時:
膜厚、膜材料によりことなります。
光学的に透過するものであれば、膜厚が薄ければ(<1μm以下)エリプソメーター、厚ければFTIR(フーリエ赤外分光計)です。
光学的に光が通らない場合には、蒸着時にサンプルを用意して半分をマスクし、膜のあるところとないところの段差をタリーステップなどで測定します。
有難うございます。蒸着膜はアルミ板をダミーに置いて渦電流式の膜厚計で測定していますが、もっと薄い多層金属膜を蒸着する場合、一定の干渉色を出すため膜厚管理したいと思いました。一度キチンと測定しておけば後は、蒸着条件を変えない限り同じ膜厚が得られると思います。
素材は透明なアクリル板なので参考にさせて頂きトライしてみます。
感謝!jiro0707
お探しのQ&Aが見つからない時は、教えて!gooで質問しましょう!
似たような質問が見つかりました
- 物理学 "等厚干渉"の読み方は、「トウアツ」「トウコウ」どちらで読みますか? 5 2022/03/22 18:32
- 婦人科の病気・生理 子宮内膜が厚いと言われました。(20歳です) 子宮内膜が厚いとどうなりますか?? 2 2022/04/10 09:35
- 婦人科の病気・生理 生理中の膜について質問させて頂きます。 12、10、8歳の子供がいる44歳のお母ちゃんです。 多分、 5 2023/04/09 11:31
- 病院・検査 宮城県・山形県・福島県で6時間透析を行っている場所を教えてくれませんか? 2 2022/04/04 22:20
- 化学 高濃度のホルムアルデヒドを吸ったら 1 2022/05/03 06:20
- 計算機科学 エクセルのデータの表すことについて 2 2023/03/05 20:49
- 呼吸器・消化器・循環器の病気 主人が健康診断で 両肺尖部胸膜肥厚 左下肺線求影 で再検査と記載されてました。 これは大丈夫なのでし 3 2022/10/09 10:15
- 車検・修理・メンテナンス 凹み補修 1 2023/03/04 18:04
- 英語 It will most likely be necessary to perform a spli 2 2023/03/26 09:40
- 高校 ヤングの実験についての質問です。 スリットの前に薄膜を入れた場合です。 写真のように、薄膜を入れた場 3 2022/05/08 12:46
おすすめ情報
マンスリーランキングこのカテゴリの人気マンスリーQ&Aランキング
おすすめ情報