テーパ形状の測定方法

フィルム上にあいたμオーダーの貫通穴のテーパ角、形状を測定したいのですが。
計算ではなく、実際の形状をなまなましくみたいと思い測定ツールを探していますが見つかりません。レーザ変位計で測定を行いましたがうまくいきませんでした。（テーパ部分が検出できなかった）
どなたか良い測定機、測定方法をご存知でしたが教えてください。

No.1 回答者： Auravictrix 回答日時： 2002/09/16 20:23

蒸着して樹脂埋めしたものを研磨したりするんではダメなんですよね。

何かゲージになるものをいっしょに埋め込んでおいて根気よく削ればCTスキャンみたいにできますが、はっきり言って死にます。

No.2 回答者： teo98 回答日時： 2002/09/16 20:50

表面顕微鏡の高価ななのが、それなのでは？

下記のＨＰでは、0.01μとなっています。

参考URL：http://www.keyence.co.jp/microscope/product/VF75 …

No.3 回答者： First_Noel 回答日時： 2002/09/16 21:14

うちのところではKEYENCEの

http://www.keyence.co.jp/microscope/product/vh80 …
を使っております．
レンズのバリエーションも豊富です．

参考URL：http://www.keyence.co.jp/microscope/product/vh80 …

No.4 回答者： robocut 回答日時： 2002/09/17 01:01

kagemscherさん　こんばんは。

多分この機械でしたらお望みのことが出来ると思います。
ＯＧＰ（オプティカル・ゲージング・プロダクツ）社のｓｍａｒｔ　ｓｃｏｐｅです。
ビデオカメラとオートフォーカス技術を合わせた三次元測定器です。ディスプレーに映像を映した状態で測定しますので形状をなまなましく観ることも出来ます。
現在は半導体のメーカーが多数採用しています。
参照ＵＲＬはＹＫＴ（山本機械通商）の物ですが、ＯＧＰやＯＧＰ　ｓｍａｒｔ　ｓｃｏｐｅまたはオプティカル・ゲージング・プロダクツで検索すると採用しているメーカーのＨＰが見ることが出来ます。

以上ｒｏｂｏｃｕｔでした。

参考URL：http://www.ykt.co.jp/product/ogp/index_ogp.html

No.5 回答者： saikoro 回答日時： 2002/09/18 20:51

μの下のほうでしたら、FIB(Focused Ion Beam)はどうでしょう。

もちろん装置は高いので、依頼分析で（これもけっこう高い？）。

いたる所に貫通穴があるのでしたら、エイヤ！で割ってSEMでもいいと思います。

http://www.bunsekinet.co.jp/shien/jirei.html
機器別分析事例集(旭化成株式会社様ご提供)
　集束イオンビーム加工観察装置　(mp014.pdf)

No.6 回答者： FM-8 回答日時： 2007/01/06 17:50

どのようなレーザ変位計を使ったのでしょうか.

ものすごく高価にはなりますが，
共焦点型のレーザ顕微鏡であれば測定できるかもしれません.
これは,高さ情報を測定するものです.

キーエンスのVK9700 とか1500万円くらいしますが
微小な突起も見ることができます.

オリンパスやレーザテックもこのタイプの顕微鏡を
上市してます.