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HT-CVDの ローディング トレイの材料にMoを使っています。
トレイはモリブデン板加工品です。

Mo使用の理由は
1.1000℃までの加熱後、熱変形が無い。
2.加熱―冷却過程に不純物の影響が無い。

ところが、Moは高価なのでコストダウン出来る材料を探しています。
皆さん、教えて下さい。

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A 回答 (3件)

ちょうど今ネットニュースにフェライト、セラミック、ガラスの溝入れや切断加工、鏡面加工等の試作、量産、というのが入ってきました。


http://business.atengineer.com/hertz/index.htm
お問い合わせになってはいかがでしょうか。
----ここから引用-----
1)溝入れ・切断加工
  板厚0.2mm~10mm程度
  ワークサイズ スライサー加工時≧100mm□
  ダイサー加工時≧203mm□またはΦ12インチ

2)平面研削・ラップ
  板厚0.2mm~20mm
  ワークサイズ5mm□~100mm□程度

多面体のワークについても対応可能です。
----ここまで引用----
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この回答へのお礼

お忙しい間、有り難うございました。

お礼日時:2008/02/26 10:30

>ベンジング、穴加工、リベッチング、溶接性…


溶接は無理です。穴加工等は各業者に問い合わせて個別対応になります。
多分炭化ケイ素含有ジェット水流などでの加工になるでしょう。
石英ならばフッ化水素酸利用の穴開けが可能です。
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この回答へのお礼

doc_sundayさん、再びありがとうございます。
大変参考になりました。
今後もよろしく申し上げます。

お礼日時:2008/02/23 15:27

アルミナ、ジルコニアなどの無機酸化物の板はいかがでしょう、多少工作しにくいですが、サイズは色々あります。


単結晶サファイア、石英ガラスなどもありますが、コンタミするかな?
アルミナ、↓
http://www.ssid.co.jp/ceramics_plate.htm
サファイア、↓
http://www.irsystem.com/si%20ge%20znse%20caf2%20 …
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この回答へのお礼

ありがとうございました。
ベンジング、穴加工、リベッチング、溶接性も検討するべきので、どうかもう一度アドバイスお願い申し上げます。

お礼日時:2008/02/22 12:23

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