CVD ローディング トレイの材料

HT-CVDの ローディング　トレイの材料にMoを使っています。
トレイはモリブデン板加工品です。

Mo使用の理由は
１．１０００℃までの加熱後、熱変形が無い。
２．加熱―冷却過程に不純物の影響が無い。

ところが、Moは高価なのでコストダウン出来る材料を探しています。
皆さん、教えて下さい。

No.3 回答者： doc_sunday 回答日時： 2008/02/25 18:41

ちょうど今ネットニュースにフェライト、セラミック、ガラスの溝入れや切断加工、鏡面加工等の試作、量産、というのが入ってきました。

↓
http://business.atengineer.com/hertz/index.htm
お問い合わせになってはいかがでしょうか。
----ここから引用-----
１）溝入れ・切断加工
　　板厚0.2mm～10mm程度
　　ワークサイズ　スライサー加工時≧100mm□
　　ダイサー加工時≧203mm□またはΦ12インチ

２）平面研削・ラップ
　　板厚0.2mm～20mm
　　ワークサイズ5mm□～100mm□程度

多面体のワークについても対応可能です。
----ここまで引用----

この回答へのお礼

お忙しい間、有り難うございました。

お礼日時：2008/02/26 10:30

No.2 回答者： doc_sunday 回答日時： 2008/02/22 19:13

>ベンジング、穴加工、リベッチング、溶接性…

溶接は無理です。穴加工等は各業者に問い合わせて個別対応になります。
多分炭化ケイ素含有ジェット水流などでの加工になるでしょう。
石英ならばフッ化水素酸利用の穴開けが可能です。

この回答へのお礼

doc_sundayさん、再びありがとうございます。
大変参考になりました。
今後もよろしく申し上げます。

お礼日時：2008/02/23 15:27

No.1 回答者： doc_sunday 回答日時： 2008/02/22 12:08

アルミナ、ジルコニアなどの無機酸化物の板はいかがでしょう、多少工作しにくいですが、サイズは色々あります。

単結晶サファイア、石英ガラスなどもありますが、コンタミするかな？
アルミナ、↓
http://www.ssid.co.jp/ceramics_plate.htm
サファイア、↓
http://www.irsystem.com/si%20ge%20znse%20caf2%20 …

この回答へのお礼

ありがとうございました。
ベンジング、穴加工、リベッチング、溶接性も検討するべきので、どうかもう一度アドバイスお願い申し上げます。

お礼日時：2008/02/22 12:23