
No.1ベストアンサー
- 回答日時:
ちょっと前に同じ質問に答えました。
http://oshiete1.goo.ne.jp/qa5044364.html
PolySiだとセルフアライン(マスクの位置あわせ不要)っていうのが一番大きい理由ですかね。あと、適当にドーピングすることで、仕事関数をけっこう自由に変えられるってのも大きい理由ですかね。
ただ、最新のプロセスでは、HKMG(High-k Metal-Gate)といって、High-k絶縁膜とセットにしてメタルのゲート電極を使うようになっています。
最も進んでいるIntelは45nmでHKMGをすでに導入済みです。
IBM、TSMCは、32nmのプロセスからHKMGを導入すると言っています。
お探しのQ&Aが見つからない時は、教えて!gooで質問しましょう!
このQ&Aを見た人はこんなQ&Aも見ています
-
【教えて!goo ウォッチ 人気記事】風水師直伝!住まいに幸運を呼び込む三つのポイント
記事を読む>>
-
MOS-FETの材料について
物理学
-
なぜSiプロセスではポリシリコンゲートを用いるのか
物理学
-
シリサイド化を行うとどうして接触抵抗が小さくなるか?(素人)
物理学
-
-
4
ポリシリコン抵抗について。 ポリシリコン抵抗の中には、温度によらず抵抗値が変化しない温特フラット?と
工学
-
5
N+の+はどういう意味(半導体、トランジスタ関連です)
物理学
-
6
半導体のリソグラフィ工程のBARCとは?
化学
-
7
半導体関連のBARCの意味
化学
-
8
MOSのゲートコンタクト作成プロセスについて
その他(自然科学)
-
9
p+、p++、n-、n--の意味は?
その他(自然科学)
-
10
【半導体】熱処理(拡散)で処理するデポとドライブインについて・・
化学
-
11
ウエルの性質について
物理学
-
12
“ in situ ” とはどういう意味ですか
その他(自然科学)
-
13
degってなんですか
その他(教育・科学・学問)
-
14
シリコンウェハ作製法のCZ法とFZ法
化学
-
15
デジタルテスターによる抵抗測定
環境・エネルギー資源
-
16
カレンダーの日付 5/Bの意味について
その他(家事・生活情報)
-
17
オペアンプの出力範囲について
物理学
-
18
プラズマ密度とエッチングレートについて教えてください!
物理学
-
19
プリウスなどHEVやEVが昇圧する理由について教えてください。
物理学
-
20
Vthとは?
その他(自然科学)
おすすめ情報
このQ&Aを見た人がよく見るQ&A
デイリーランキングこのカテゴリの人気デイリーQ&Aランキング
-
LEDの廃棄
-
MOSトランジスターのゲートはな...
-
電子レンジでアルミ箔が食品中...
-
弱アルカリ性洗剤で白くなった...
-
金属珪素、またはシリコンの市...
-
【至急】シリコンとシンナーの...
-
過酸化水素水にアルミの物を入...
-
シリコンバレーってどこにある...
-
培地の滅菌の仕方【シリコン栓...
-
2.5mm, 5mm厚のアルミ板をはや...
-
シリカとシリコンの違いを教え...
-
感熱紙を活用する方法はないで...
-
プラスチックのリサイクルマーク
-
20年前の電子レンジを使い続け...
-
窓空き封筒のグラシン紙について
-
パンチくずのリサイクルについて
-
アクエリアスのペットボトルは2...
-
弁論大会の書き方&案を教えて...
-
オイルの入っていたペール缶の...
-
床暖房のエコハック社について...
マンスリーランキングこのカテゴリの人気マンスリーQ&Aランキング
-
電子レンジでアルミ箔が食品中...
-
MOSトランジスターのゲートはな...
-
LEDの廃棄
-
2.5mm, 5mm厚のアルミ板をはや...
-
弱アルカリ性洗剤で白くなった...
-
過酸化水素水にアルミの物を入...
-
シリカとシリコンの違いを教え...
-
培地の滅菌の仕方【シリコン栓...
-
金属珪素、またはシリコンの市...
-
アルミは疲労限度がないという...
-
YHという規格?
-
テスターのリード棒の材料に関して
-
ケイ素とケイ素を含む全ての化...
-
アルミの熱通過率
-
【化学】シリコンとシリコーン...
-
廃材となったインコネルの価値
-
アメリカの「シリコン〜」って ...
-
アルミの耐油性
-
蓋と底はアルミ、周りはスチー...
-
社会の地理で鉄鉱石と鉱産資源...
おすすめ情報