No.1ベストアンサー
- 回答日時:
触針の材質・・・柔らかかったら、触針が変形し結果に誤差を与えます。
測定モードにもよりますが、触針自体が振動を起こすこともあります。
先端の丸み・・・理想的には細ければ細いほど正確な測定ができますが、
作製技術の問題もありますし、強度の問題もあります。当然、
先端の曲率半径より小さい粗さは測定できません。
針先加重・・・強すぎると対象物が削れてしまうことがあります。逆に
弱すぎると、スキャンスピードとの兼ね合いもありますが、
跳ねてしまうこともあります。
カットオフ・・・測定結果の波形に含まれる、真の形状以外の
情報(ノイズ)を除去することだと思います。
例えば、振動。普通は除振台に載せますが、それでも取り除けない
振動成分を除去します。音も問題になることがありますし、
電気系に対する電磁ノイズもあります。
それから、サンプルのソリもあります。サンプル全体が反って
いたら、、、。例えばmax-minを調べるときに、荒さから来る値でなく、
反ったてっぺんから端の高さの差がでてしまいますから、ソリ=大きな
波の成分を除去します。
以上
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