粗さ測定

触針方により加工面の粗さ測定をしました。しかしこの方法は触針の材質と先端の丸みと針先に加わる荷重が問題になるため測定力の値などの標準が決められていると言われました。いったい何故問題になるのでしょうか？

それと、カットオフの意味がいまいち理解できません、測定した波をどうにかするような感じがするのですが・・・
図書館で調べましたが貸し出し中らしく解りませんでした。どうか助け船を～

No.1 ベストアンサー 回答者： gator 回答日時： 2003/05/08 05:54

触針の材質・・・柔らかかったら、触針が変形し結果に誤差を与えます。

測定モードにもよりますが、触針自体が振動を起こすこともあります。
先端の丸み・・・理想的には細ければ細いほど正確な測定ができますが、
作製技術の問題もありますし、強度の問題もあります。当然、
先端の曲率半径より小さい粗さは測定できません。
針先加重・・・強すぎると対象物が削れてしまうことがあります。逆に
弱すぎると、スキャンスピードとの兼ね合いもありますが、
跳ねてしまうこともあります。

カットオフ・・・測定結果の波形に含まれる、真の形状以外の
情報(ノイズ)を除去することだと思います。
例えば、振動。普通は除振台に載せますが、それでも取り除けない
振動成分を除去します。音も問題になることがありますし、
電気系に対する電磁ノイズもあります。
それから、サンプルのソリもあります。サンプル全体が反って
いたら、、、。例えばmax-minを調べるときに、荒さから来る値でなく、
反ったてっぺんから端の高さの差がでてしまいますから、ソリ=大きな
波の成分を除去します。

以上

この回答へのお礼

ありがとうございました！助かりました。

お礼日時：2003/05/09 00:18