物理について質問です。お願いします。

真空蒸着法により膜厚の測定を行った場合、予想膜厚より測定膜厚が1～2割ほど厚くなる理由
（考察）について自分は

ビスマスを蒸発させた際に、原子の並びが不規則になり、アモルファスになってしまったため、原子が規則正しく並んでいると想定した予想膜厚より厚くなったと考えられる。

と考えたのですが何か少し物足りない気もします・・。
どのようにまたは何を追加してかいたら良いでしょうか？これで十分でしょうか？
アドバイスください。
お願いします＞＜

No.2 回答者： mystery200 回答日時： 2011/01/17 04:06

予想膜厚は、装置に表示されているのですか。

参照基板にビスマス膜がつくと、参照基板の電気的振動周波数が変化します。
その変化から、予想膜厚が計算されて表示されます。

参照基板と実験に使った基板で膜厚が違うという意味ですか？
これだけでは、なんとも言えません。

No.1 回答者： sanori 回答日時： 2011/01/16 22:57

こんにちは。

いくつか問題点があります。

・「真空蒸着法により膜厚の測定を行った」の意味がわからない。

・「予想膜厚」とは言っても、何を根拠に予想しているのかわからない。

・基板がどういう材料かわからない。

・どういう条件やソースで蒸着したのかがわからない。

・望みの膜厚を得ようとするなら、色々な膜厚のものを作って、横軸に予想膜圧、縦軸に実際の膜厚をプロットしたグラフを作るのが普通。そうでないと、外れた原因も予想できない。