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No.2
- 回答日時:
予想膜厚は、装置に表示されているのですか。
参照基板にビスマス膜がつくと、参照基板の電気的振動周波数が変化します。
その変化から、予想膜厚が計算されて表示されます。
参照基板と実験に使った基板で膜厚が違うという意味ですか?
これだけでは、なんとも言えません。
No.1
- 回答日時:
こんにちは。
いくつか問題点があります。
・「真空蒸着法により膜厚の測定を行った」の意味がわからない。
・「予想膜厚」とは言っても、何を根拠に予想しているのかわからない。
・基板がどういう材料かわからない。
・どういう条件やソースで蒸着したのかがわからない。
・望みの膜厚を得ようとするなら、色々な膜厚のものを作って、横軸に予想膜圧、縦軸に実際の膜厚をプロットしたグラフを作るのが普通。そうでないと、外れた原因も予想できない。
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