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半導体の製造プロセスの勉強をしているんですけど、
洗浄に関連するところで、
「DIW」ってのが出てくるんですが何ですか?水洗するってこと?
ほかに、「D2W」とか「DIN」、「B2W」とかってノートに書いてあるのですけど、そんなものあるのでしょうか?私が「DIW」のことを書き間違いたのでしょうか?

A 回答 (3件)

DE-IONIZED WATERです。



純水のことです。

通常、半導体の洗浄では各種薬品を用いて処理した後に、純水で処理します。一般の水を用いますと、不純物が多く含まれているため、乾燥時に乾燥不良となります。
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この回答へのお礼

なーるほど!洗浄したあとに純水で洗い流すってことですね!?納得

お礼日時:2004/06/11 19:23

純水の事ですね。


PW(ピュアウォーター)というところもあります。

オリンピックプールに水道水を張りその不純物は
どれくらいになるかというと200Lドラム缶が2本で
超純水(カミオカンデ)だとこさじ2杯くらいの
きれいさです。

水処理会社のHPです。覗いてみてください。

参考URL:http://www.organo.co.jp/
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この回答へのお礼

またまた純水ですね。ありがとうございます。専門家さん2人がご回答されているのでそうなんでしょうね。

お礼日時:2004/06/11 19:24

イオン化蒸留水の事です。


Distilled Ion Waterの略だと思います。
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この回答へのお礼

早速のご回答ありがとうございます。

お礼日時:2004/06/10 11:50

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