【SEM】１次電子の深さと、発生する2次電子の量

2次電子脱出可能深さと、2次電子の発生量についての質問です。

添付図の説明ですが、下記凡例になります。
　・　オレンジの矢印　…　入射電子
　・　薄緑部分　…　2次電子脱出可能深さ
　・　濃ピンク　…　2次電子発生源
　・　薄ピンク　…　濃ピンク部分からの2次電子の広がり（？）

左図は、『試料表面付近』から発生した2次電子の広がりを表しました。
右図は、『比較的深いところ』から発生した2次電子の広がりです。

図を見ると、左図は右図に比べ、飛び出す2次電子の量が多く見えます。

果たして、表面により近いところから発生した2次電子の量は、
深いところから発生した2次電子の量と比べて多いと言っていいのでしょうか？

よろしくお願いいたします。

No.1 ベストアンサー 回答者： ccokuma 回答日時： 2012/08/21 20:46

言っていいと思います。

電子線は試料深部ほど届きにくいでしょうから、
飛び出す電子も浅いところからの方が多くなると考えられます。

この回答へのお礼

ご回答いただきありがとうございます。

質問内容は間違っていないということで、安心しました。

試料内深度と2次電子発生量の関係を表したグラフなどあれば
視覚的にもわかりやすいと思うので、探してみようと思います。

お礼日時：2012/08/22 10:54