No.2ベストアンサー
- 回答日時:
No.1の方の回答と同じことですが、SEM(走査型電子顕微鏡)も、EM(電子顕微鏡)も真空管と同じ原理です。
陰極からの電子線は、電子銃、ポールピース、電子レンズ、偏向板を経て試料面に照射されますが、試料面が非導電性ですと、陽極(この場合は試料面)から陰極に向かって電流が流れます。
試料面がガラス状ですと電流の流れる経路ができないために、電流の経路を作ろうとして、電子ビームがさまよって正しく像を観測できなくなります。そのために、試料面を導電性の薄膜でスパッター(真空蒸着)を行います。
良い結果を出すためにも試料つくりが一番大事だと思います。
もう古の記憶です、間違っているかも知れません。
usotsukiでした。
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