No.2ベストアンサー
- 回答日時:
こんにちは
通称「オリフラ(Orientation Flat)」なんて言います
基板メーカーのよってどの向きにオリフラを切ってあるか
またはその基板の面方位によっても大きく違うと思います
自分の使用している基板メーカーのHPなどが参考になるかと
大体オリフラは基板表面の面方位(→(100)面とか)に対して
直交する二つの方位を選ぶものです(オリフラが二つあるある場合)
基板面方位が<100>なら<0-11>と<0-1-1>とか
じゃあなぜわざわざ方位の目印を付ける意味があるかというと
その上に何かを堆積した時に異方性が出たりする場合があるからです
ある方位にのみ長く伸びた構造ができるなどなど・・・
結晶軸に関しては教科書に任せます(そっちの方が詳しいので)
No.1
- 回答日時:
Si面方位は、立方晶格子のx,y,z軸で規定された結晶面を示したものであり、(100),(110),(111)が代表的な面方位です。
面方位によってシリコン原子間距離が異なり、そのため多少微視的な性質も変わってきます。面方位に関してはhttp://www2.mitsuya.nuem.nagoya-u.ac.jp/~s-hatto … で。
お探しのQ&Aが見つからない時は、教えて!gooで質問しましょう!
似たような質問が見つかりました
- 化学 砂糖の再結晶の実験で、水道水で作った結晶よりも純水で作った結晶の方が凹凸が少なく、大きな結晶ができま 5 2022/09/25 10:20
- 化学 結晶場理論で真空状態から例えば8面体配位でt2gが安定化するのはなぜでしょうか? 1 2023/04/30 19:09
- 化学 結晶場理論で真空状態から例えば8面体配位でt2gの安定化の実験and/or理論的証拠って? 1 2023/05/02 22:20
- 地球科学 この石はなんですか? 1 2023/05/24 23:33
- プリンタ・スキャナー 「用紙が違う」メッセージが頻発 4 2022/08/22 08:30
- 化学 高校化学についての質問です。 硫酸銅5水和物CuSO4・5H2Oの結晶1.200 gを質量10.00 2 2022/04/22 18:02
- 化学 グラファイトののXYZ面についての質問です。 グラファイト上にプラズマを用いて結晶成長させる時大学の 1 2023/06/26 12:45
- その他(自然科学) 結晶粒が小さい方が強度が上がるって話について質問です。 2 2022/08/07 19:28
- Windows 10 Windows 10 ノートのディスプレイが暗いです 6 2023/07/16 12:59
- フィルムカメラ・インスタントカメラ 一眼レフカメラについてです。僕たちはファインダーから実像を覗くわけですが、ファインダーの液晶画面って 1 2022/04/04 18:07
このQ&Aを見た人はこんなQ&Aも見ています
-
「環境が人を育てる」って本当?環境によって人格や生き方は本当に変わるのか
環境が人生に与える影響は実際どれほどのものなのか、専門家の田宮由美さんに伺った。
-
シリコンウェハの結晶の方向指数
物理学
-
シリコンウェハの結晶方位
物理学
-
シリコン基板をカットしたいのですが,何を使ってカットすれば良いのでしょ
化学
-
-
4
結晶の面方位について
物理学
-
5
半導体のウェーハの結晶方位について
化学
-
6
Siの線熱膨張係数を知りたいです。
化学
-
7
シリコンウェハ作製法のCZ法とFZ法
化学
-
8
結晶構造
物理学
-
9
エクセルの散布図のX軸に文字を表示したいのですが、どうしたらよいのでしょうか?
Excel(エクセル)
-
10
(111)面を上にもってくるとどうなる?
物理学
-
11
シリコンウェハ 比抵抗と不純物濃度
物理学
-
12
エクセルのグラフから半値幅を求めたいです
その他(教育・科学・学問)
-
13
数式中の文字をCambria Math以外にしたい
Word(ワード)
おすすめ情報
このQ&Aを見た人がよく見るQ&A
デイリーランキングこのカテゴリの人気デイリーQ&Aランキング
マンスリーランキングこのカテゴリの人気マンスリーQ&Aランキング
おすすめ情報